Источник атомарного крекинга фосфора

Отправить запрос

Источник расщепления атомов фосфора E63PC

(Двухзонный испаритель с крекингом молекулярного фосфора)

Принцип работы и конструктивные особенности

Двухзонная структура
- Зона испарения:
  - Нагрев твердого прекурсора фосфора
  - Графитовая герметизация для минимизации утечек паров
  - Водяное охлащение для стабилизации давления
- Зона крекинга:
  - Танталовая трубка с многослойной теплоизоляцией (до 2000°C)
  - Каталитическое расщепление P₄ → 4P (молекулярный → атомарный фосфор)
Теплоизоляция
- Специальная конструкция между зонами
- Графитовые экраны для снижения теплового взаимодействия

Технические характеристики

Параметр	Значение/Описание
Модель	E63PC
Нагрев	Независимый для обеих зон
Температурная стабильность	≤0.1% (зависит от ПИД-регулятора)
Макс. ток зоны крекинга	35 А (R≈0.5 Ом)
Макс. температура крекинга	2000°C
Температура зоны испарения	≤300°C при работе крекинга
Скорость утечки	<5×10⁻¹⁰ Па·м³/с
Затвор	Дополнительный Ta (ручной/пневматический)
Охлаждение	Встроенное водяное
Фланец	NW63CF (OD 4.50″)
Объем тигля	10 см³

Ключевые преимущества

✔ Высокий выход атомарного фосфора за счет каталитического крекинга
✔ Точный контроль температуры (стабильность ≤0.1%)
✔ Эффективная теплоизоляция между зонами
✔ Сверхнизкая утечка (<5×10⁻¹⁰ Па·м³/с)
✔ Безопасность: водяное охлащение и защитные экраны

Области применения

Эпитаксиальный рост фосфидных полупроводников (InP, GaP)
Нанотехнологии и квантовые точки
Исследования в области оптоэлектроники

Сравнение с аналогами

Параметр	E63PC	Стандартные испарители
Тип фосфора	Атомарный (P)	Молекулярный (P₄)
Макс. температура	2000°C (крекинг)	Обычно до 1200°C
Чистота процесса	Высокая (за счет изоляции зон)	Риск загрязнений