Источник атомарного крекинга фосфора
на оборудование
Источник расщепления атомов фосфора представляет собой источник испарения основанный на использовании твердого прекурсора фосфора.
Источник имеет структуру с двойной температурной зоной: испарения и крекинга.
Для максимального снижения теплового взаимодействия между двумя зонами применяется специальная конструкция теплоизоляции. Кроме того, зоны герметизированы графитом, что снижает утечку паров в зоне испарения.
Водяное охлаждение в зоне испарения и крекинга обеспечивает постоянное фоновое давление в процессе роста.
Прекурсор фосфора, помещенный в зону испарения, поглощает тепло, выделяемое тепловым излучением нагревателя, и испаряется.
В зоне крекинга в качестве нагревателя используется танталовая трубка, оснащённая многослойной теплоизоляцией из жаропрочного металла для защиты от потери тепла тепловым излучением до 2000 ℃.
После того как молекулярный пар фосфора из зоны испарения попадает в зону крекинга, происходит быстрая реакция каталитического крекинга т.е. происходит получение пара одноатомного фосфора.
Характеристики:
● Модель: E63PC;
● Зона крекинга и зона испарения нагреваются независимо;
● Стабильность температуры зоны испарения ≤0,1% (в зависимости от ПИД-регулятора);
● Максимально допустимый ток в зоне крекинга: 35 А (сопротивление ~0,5 Ом);
● Максимальная температура зоны крекинга: 2000 ℃;
● Зона крекинга при самой высокой температуре, температура зоны испарения не превышает: 300 ℃;
● Скорость утечки лучше, чем 5×10-10 Па·м3/с;
● Затвор: дополнительный затвор Ta (ручной/пневматический);
● Встроенный модуль водяного охлаждения;
● Размер фланца NW63CF(OD 4.50″);
● Объем тигля 10cc.