Заказать звонок

Источник атомарного крекинга фосфора

Отправить запрос

Источник расщепления атомов фосфора E63PC

(Двухзонный испаритель с крекингом молекулярного фосфора)


Принцип работы и конструктивные особенности

  1. Двухзонная структура
    • Зона испарения:
      • Нагрев твердого прекурсора фосфора
      • Графитовая герметизация для минимизации утечек паров
      • Водяное охлащение для стабилизации давления
    • Зона крекинга:
      • Танталовая трубка с многослойной теплоизоляцией (до 2000°C)
      • Каталитическое расщепление P₄ → 4P (молекулярный → атомарный фосфор)
  2. Теплоизоляция
    • Специальная конструкция между зонами
    • Графитовые экраны для снижения теплового взаимодействия

Технические характеристики

Параметр Значение/Описание
Модель E63PC
Нагрев Независимый для обеих зон
Температурная стабильность ≤0.1% (зависит от ПИД-регулятора)
Макс. ток зоны крекинга 35 А (R≈0.5 Ом)
Макс. температура крекинга 2000°C
Температура зоны испарения ≤300°C при работе крекинга
Скорость утечки <5×10⁻¹⁰ Па·м³/с
Затвор Дополнительный Ta (ручной/пневматический)
Охлаждение Встроенное водяное
Фланец NW63CF (OD 4.50″)
Объем тигля 10 см³

Ключевые преимущества

✔ Высокий выход атомарного фосфора за счет каталитического крекинга
✔ Точный контроль температуры (стабильность ≤0.1%)
✔ Эффективная теплоизоляция между зонами
✔ Сверхнизкая утечка (<5×10⁻¹⁰ Па·м³/с)
✔ Безопасность: водяное охлащение и защитные экраны


Области применения

  • Эпитаксиальный рост фосфидных полупроводников (InP, GaP)
  • Нанотехнологии и квантовые точки
  • Исследования в области оптоэлектроники

Сравнение с аналогами

Параметр E63PC Стандартные испарители
Тип фосфора Атомарный (P) Молекулярный (P₄)
Макс. температура 2000°C (крекинг) Обычно до 1200°C
Чистота процесса Высокая (за счет изоляции зон) Риск загрязнений

 

Оставить заявку на обратный звонок: