Заказать звонок

Двузонный испаритель

Отправить запрос

Двузонные испарители для материалов с высоким давлением паров


Назначение и принцип работы

Предназначены для испарения материалов, склонных к образованию кластеров (Se, Te, As, Mg, Sb, CdTe, ZnTe и др.).

  • Двухступенчатый нагрев:
    • Нижняя зона: испарение материала (до 1000°C)
    • Верхняя зона: термический крекинг кластеров (до 1400°C)
  • Тигель из PBN (пиролитический нитрид бора), объемом 50 см³

Технические характеристики

Параметр Значение
Рабочая температура Нижняя зона: 100–1000°C
Верхняя зона: 300–1400°C
Материал нагревателя Тантал (Ta)
Термопары Нижняя зона: Тип K
Верхняя зона: Тип C (W-Re)
Температурная стабильность ±0.1%
Присоединительный фланец DN40CF
Затвор Пневматический/ручной
Дополнительно Линейный клапан (опция)
Водяное охлаждение

Линейка стандартных двузонных испарителей

Предназначены для работы с материалами III-V группы (Al, Ga, In и др.):

  • Диапазон температур: 300–1400°C
  • Типичные применения:
    • Полупроводниковая эпитаксия
    • Нанотехнологии
    • Оптоэлектроника

Преимущества

✔ Эффективный крекинг кластеров за счет двухзонного нагрева
✔ Высокая точность контроля температуры (±0.1%)
✔ Надежные материалы: PBN-тигель и танталовый нагреватель
✔ Гибкость конфигурации: опциональный линейный клапан


Области применения

  • Производство полупроводниковых структур
  • Нанесение тонких пленок сложных соединений
  • Исследования в области молекулярной эпитаксии

Технические характеристики испарителей серии E63M/E100M/E125M/E150M

Модельный ряд и основные параметры

Модель E63M T60DF E63M T80DF E100M T150DF E125M T300DF E150M T700DF
Объем тигля 60 cc 80 cc 150 cc 300 cc 700 cc
Фланец DN63CF DN63CF DN100CF DN125CF DN150CF

Общие характеристики

  • Материал тигля: PBN (пиролитический нитрид бора)
  • Количество нитей накала: 2
  • Материал нагревателя: Тантал
  • Тип термопары: W5%Re/W26%Re (Тип C)

Температурные режимы

  • Рабочая температура: 300~1400°C
  • Макс. температура дегазации:
    • Верхняя зона: 1300°C
    • Нижняя зона: 1400°C
  • Температурная стабильность: ±0.1%
  • Температура отжига: 250°C

Ключевые особенности

✔ Широкий выбор моделей для разных объемов испаряемого материала
✔ Высокая температурная стабильность (±0.1%)
✔ Надежные материалы: PBN-тигли и танталовый нагреватель
✔ Совместимость со стандартными фланцами (DN63CF–DN150CF)

 

Оставить заявку на обратный звонок: