Двузонный испаритель
Отправить запрос
Двузонные испарители для материалов с высоким давлением паров
Назначение и принцип работы
Предназначены для испарения материалов, склонных к образованию кластеров (Se, Te, As, Mg, Sb, CdTe, ZnTe и др.).
- Двухступенчатый нагрев:
- Нижняя зона: испарение материала (до 1000°C)
- Верхняя зона: термический крекинг кластеров (до 1400°C)
- Тигель из PBN (пиролитический нитрид бора), объемом 50 см³
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Рабочая температура | Нижняя зона: 100–1000°C Верхняя зона: 300–1400°C |
| Материал нагревателя | Тантал (Ta) |
| Термопары | Нижняя зона: Тип K Верхняя зона: Тип C (W-Re) |
| Температурная стабильность | ±0.1% |
| Присоединительный фланец | DN40CF |
| Затвор | Пневматический/ручной |
| Дополнительно | Линейный клапан (опция) Водяное охлаждение |
Линейка стандартных двузонных испарителей
Предназначены для работы с материалами III-V группы (Al, Ga, In и др.):
- Диапазон температур: 300–1400°C
- Типичные применения:
- Полупроводниковая эпитаксия
- Нанотехнологии
- Оптоэлектроника
Преимущества
✔ Эффективный крекинг кластеров за счет двухзонного нагрева
✔ Высокая точность контроля температуры (±0.1%)
✔ Надежные материалы: PBN-тигель и танталовый нагреватель
✔ Гибкость конфигурации: опциональный линейный клапан
Области применения
- Производство полупроводниковых структур
- Нанесение тонких пленок сложных соединений
- Исследования в области молекулярной эпитаксии
Технические характеристики испарителей серии E63M/E100M/E125M/E150M
Модельный ряд и основные параметры
| Модель | E63M T60DF | E63M T80DF | E100M T150DF | E125M T300DF | E150M T700DF |
|---|---|---|---|---|---|
| Объем тигля | 60 cc | 80 cc | 150 cc | 300 cc | 700 cc |
| Фланец | DN63CF | DN63CF | DN100CF | DN125CF | DN150CF |
Общие характеристики
- Материал тигля: PBN (пиролитический нитрид бора)
- Количество нитей накала: 2
- Материал нагревателя: Тантал
- Тип термопары: W5%Re/W26%Re (Тип C)
Температурные режимы
- Рабочая температура: 300~1400°C
- Макс. температура дегазации:
- Верхняя зона: 1300°C
- Нижняя зона: 1400°C
- Температурная стабильность: ±0.1%
- Температура отжига: 250°C
Ключевые особенности
✔ Широкий выбор моделей для разных объемов испаряемого материала
✔ Высокая температурная стабильность (±0.1%)
✔ Надежные материалы: PBN-тигли и танталовый нагреватель
✔ Совместимость со стандартными фланцами (DN63CF–DN150CF)
