Электронно-лучевой испаритель
Отправить запрос
Электронно-лучевые испарители для тугоплавких материалов
Принцип работы и назначение
Используются для испарения тугоплавких металлов (Ta, Mo и др.) при температурах свыше 2000℃
- Максимальная рабочая температура: до 3000℃
- Принцип нагрева: бомбардировка материала электронным лучом
Конструктивные особенности
- Медный кожух с водяным охлаждением:
- Поддерживает низкий уровень дегазации
- Обеспечивает стабильность процесса
- Регулировка параметров:
- Мощность: 0–300 Вт
- Скорость осаждения: от <0,1 Å/мин до >50 Å/мин
Технические характеристики
Параметр | Значение |
---|---|
Ток накала | 4,5 А (макс. 5 А) |
Напряжение | до 2 кВ |
Ток эмиссии | 200 мА (макс. 300 мА) |
Система регулирования | ПИД-регулятор с обратной связью по потоку |
Присоединительный фланец | DN40CF |
Тип затвора | Пневматический/ручной |
Охлаждение | Водяное |
Преимущества
✔ Сверхвысокие температуры (до 3000℃)
✔ Точный контроль скорости осаждения
✔ Стабильность процесса благодаря ПИД-регулированию
✔ Эффективное охлаждение – минимизация дегазации
✔ Гибкость управления – ручной или автоматический режим
Как приобрести
Электронно-лучевые испарители доступны для заказа в нашей компании.
Свяжитесь с нами для уточнения деталей и консультации.