Заказать звонок

MBE системы

Эпитаксиальный рост тонких пленок

Эпитаксиальный рост — ключевая технология в полупроводниковой промышленности и создании новых материалов.
Наша компания предлагает комплексные решения для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), включая:

  • Простые вакуумные камеры
  • Сложные многокамерные системы с гибкой конфигурацией
  • Линейку источников испарения с диапазоном температур от –50 °C до 3500 °C

Области применения

Оборудование используется в:

  • Ведущих университетах (Китай, США, Южная Корея, Тайвань, ОАЭ, Австралия и др.)
  • Научно-исследовательских институтах

Конфигурация и возможности

Источники испарения

  • Термические
  • Пиролитические
  • Электронно-лучевые
  • Другие типы (под индивидуальные задачи)

Мониторинг роста

  • RHEED (дифракция быстрых электронов)
  • BFM (флуоресцентная микроскопия)
  • RGA (газоанализатор остаточных газов)
  • И другие методы

Автоматизация и управление

  • Автоматизированный повторяемый рост
  • Программное обеспечение для:
    • Непрерывного контроля компонентов
    • Автоматического управления процессом

Преимущества наших решений 

✔ Гибкость конфигурации под задачи заказчика
✔ Высокая точность и воспроизводимость процессов
✔ Интеграция с аналитическим оборудованием

Система MBE 200/300/350

Материал камеры: нержавеющая сталь 316.

Базовое давление: 5*10E-10 мбар.

Возможность установки до 8 испарителей с температурой до 3000℃.

4/5 — осевой манипулятор с возможностью нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).

Для образцов до 2 дюймов.

Система оборудована камерой загрузки, трансфером,  кварцевыми микровесами и RHEED.

Возможность установки дополнительных методов, соединения с системами LEED/ARPES/XPS/STM через радиальную камеру.

Система MBE 600/800

Материал камер: нержавеющая сталь 316.

Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11

Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.

4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).

Для образцов до 4 дюймов.

Система оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами.

Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.

Система MBE 1000

Кластерная система MBE-1000 оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами, который непрерывно вращается на 360°, для работы с большими образцами.

Материал камер: нержавеющая сталь 316.

Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11

Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.

4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).

Для образцов до 8 дюймов.

Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.

Область применения

Оставить заявку на обратный звонок: