MBE системы
Эпитаксиальный рост тонких пленок
Эпитаксиальный рост — ключевая технология в полупроводниковой промышленности и создании новых материалов.
Наша компания предлагает комплексные решения для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), включая:
- Простые вакуумные камеры
- Сложные многокамерные системы с гибкой конфигурацией
- Линейку источников испарения с диапазоном температур от –50 °C до 3500 °C
Области применения
Оборудование используется в:
- Ведущих университетах (Китай, США, Южная Корея, Тайвань, ОАЭ, Австралия и др.)
- Научно-исследовательских институтах
Конфигурация и возможности
Источники испарения
- Термические
- Пиролитические
- Электронно-лучевые
- Другие типы (под индивидуальные задачи)
Мониторинг роста
- RHEED (дифракция быстрых электронов)
- BFM (флуоресцентная микроскопия)
- RGA (газоанализатор остаточных газов)
- И другие методы
Автоматизация и управление
- Автоматизированный повторяемый рост
- Программное обеспечение для:
- Непрерывного контроля компонентов
- Автоматического управления процессом
Преимущества наших решений
✔ Гибкость конфигурации под задачи заказчика
✔ Высокая точность и воспроизводимость процессов
✔ Интеграция с аналитическим оборудованием
Оставить заявку
Система MBE 200/300/350
Материал камеры: нержавеющая сталь 316.
Базовое давление: 5*10E-10 мбар.
Возможность установки до 8 испарителей с температурой до 3000℃.
4/5 — осевой манипулятор с возможностью нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
Для образцов до 2 дюймов.
Система оборудована камерой загрузки, трансфером, кварцевыми микровесами и RHEED.
Возможность установки дополнительных методов, соединения с системами LEED/ARPES/XPS/STM через радиальную камеру.
Система MBE 600/800
Материал камер: нержавеющая сталь 316.
Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11
Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.
4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
Для образцов до 4 дюймов.
Система оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами.
Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.
Система MBE 1000
Кластерная система MBE-1000 оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами, который непрерывно вращается на 360°, для работы с большими образцами.
Материал камер: нержавеющая сталь 316.
Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11
Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.
4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
Для образцов до 8 дюймов.
Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.
Область применения
