РФЭС (XPS) спектрометр Exiton Core
Исследование поверхности современных материалов
Важной задачей исследования свойств современных материалов является изучение их поверхности. Поверхность играет ключевую роль при создании материалов с уникальными свойствами:
— электрическими,
— термическими,
— каталитическими,
— магнитными,
— и многими другими.
Методы электронной спектроскопии являются одними из основных способов исследования физических свойств поверхности.
Представляем РФЭС-спектрометр Exiton Core!
Предназначен для проведения элементного и химического анализа поверхности образцов.
Состав спектрометра:
— Аналитическая камера – оснащена магнитным экранированием из Al и μ-металла.
— Система СВВ-откачки – обеспечивает поддержание сверхвысокого вакуума (лучше 1E-9 мбар).
— Полусферический анализатор энергии (125 мм, разрешение лучше 0.5 эВ, Ag 3d5/2)
— Монохроматический микрофокусный рентгеновский источник (100-400 мкм).
— Электронная пушка.
— Ионная пушка.
— 4-осевой манипулятор – для держателей образцов типа *flag*.
— Камера загрузки – оборудована трансфером и вакуумметрами.
Управление и программное обеспечение
Все компоненты системы подключены к компьютеру и управляются интегрированным ПО.
Поставка и обслуживание
— Система поставляется «под ключ» с гарантией производителя.
— Оказывается полный цикл поддержки, включая:
— поставку,
— пусконаладку,
— гарантийное и пост-гарантийное обслуживание (выполняется инженерами – гражданами РФ).
Узнайте больше и закажите демонстрацию!
Наши специалисты готовы ответить на все ваши вопросы. Свяжитесь с нами!
Оставить заявку
Преимущества РФЭС
РФЭС – ведущий метод исследования поверхности, основанный на измерении энергетического спектра электронов, испускаемых с поверхности твердого тела под действием рентгеновского излучения (ХРИ).
Преимущества РФЭС
- Неразрушающий метод
- Высокая поверхностная чувствительность
- Возможность исследования всех элементов
- Определение электронного состояния (химического состояния)
- Применимость ко всем типам образцов (изоляторы, металлы, полупроводники)
Уникальные возможности метода
В отличие от большинства методов, РФЭС предоставляет информацию не только об элементном составе (какие элементы и в каком количестве присутствуют), но и об их электронном/химическом состоянии:
- зарядовое состояние/валентность,
- химические связи/химический сдвиг и др.
Это открывает широкие возможности для химического анализа, позволяющего изучать закономерности формирования структур.
Глубина анализа и разрешение
РФЭС позволяет исследовать химическое состояние поверхности и приповерхностных слоёв, собирая сигнал с глубины 3–8 монослоёв. В сочетании с ионным профилированием метод обеспечивает построение глубинных профилей распределения химического состава с разрешением 1–5 нм.
Чистота и точность измерений
Метод требует сверхвысокого вакуума (СВВ) в аналитической камере (давление остаточных газов ~10⁻¹⁰ – 10⁻⁹ Торр), что гарантирует чистоту и точность исследований.
Применение РФЭС
Благодаря своим характеристикам, РФЭС является ключевым методом для решения аналитических задач в:
- диагностике роста структур,
- микро- и наноэлектронике,
- биомедицине и других областях.
