РФЭС (XPS) спектрометр
Важной задачей исследования свойств современных материалов является исследование поверхности. Поверхность играет важную роль при создании материалов, обладающих уникальными электрическими, термическими, каталитическими, магнитными и многими другими свойствами. Методы электронной спектроскопии являются одними из основных методов исследования физических свойств поверхности.
РФЭС спектрометр PhoeniXPS предназначен для проведения элементного и химического анализа поверхности образцов.
Спектрометр состоит из:
- аналитической камеры — имеет магнитное экранирование из Al и μ-металла
- СВВ системы откачки для поддержания камеры в условиях сверхвысокого вакуума
- полусферического анализатора энергии
- монохроматического рентгеновского источника
- электронной пушки
- ионной пушки
- 4-осевого манипулятора для держателей образцов типа flag
- камеры загрузки — оборудована трансфером и вакуумметрами
Каждый компонент системы подключен к компьютеру и управляется интегрированным программным обеспечением.
Система поставляются «под ключ», с гарантией производителя.
Мы оказываем полный цикл поддержки, включая поставку, пуск, гарантийное и пост-гарантийное обслуживание силами собственных инженеров (граждане РФ).
Оставить заявку
Преимущества РФЭС
РФЭС – ведущий метод исследования поверхности, основан на измерении энергетического спектра электронов, испускаемых с поверхности твердого тела под действием ХРИ.
РФЭС обладает рядом важнейших преимуществ.
- Неразрушающий метод;
- Поверхностная чувствительность;
- Исследование всех элементов;
- Электронное состояние (химическое состояние);
- Все типы образцов (изоляторы, металлы, полупроводники).
В отличие от большинства методов дает информация не только об элементном составе (что и в каком количестве присутствует) но и об электронном/химическом состоянии (зарядовое состояние/валентность, образующие связи/хим. сдвиг и т.п.) — Таким образом, открывается широкий спектр возможностей химического анализа, позволяющего объяснить основные закономерности формирования структур.
РФЭС является методом определения химического состояния поверхности и приповерхностных слоев, собирая аналитический сигнал с глубин до 3 – 8 монослоев, что в совокупности с ионным профилированием обеспечивает получение профилей распределения химического состава по глубине структур с разрешением 1 – 5 нм.
РФЭС отличается чистотой проведения исследований, т.к. необходимым условием проведения измерений для метода анализа поверхности является сверхвысокий вакуум (СВВ), и давление остаточных газов в аналитической камере составляет ~ 10-10 — 10-9 Торр.
Все это в совокупности делает метод РФЭС определяющим для решения аналитических задач в области диагностики роста структур, для нужд электроники и микроэлектроники, биомедицины и пр.
