Заказать звонок

Магнетронный источик

Отправить запрос
на оборудование

Магнетронный источник модели FISSION для компактных лабораторных систем HEX обеспечивает использование широкого спектра материалов для формирования тонкопленочных покрытий. Существуют версии для мишеней 1″ и 2″. Магнетронный источник комплектуется магнитами из SmCo и позволяет использовать мишени толщиной от 1 до 6 мм. Типичный коэфициент использования мишени немагнитных материалов составляет 43%. Все источники модели FISSION оснащаются заслонками и линией подачи рабочего газа. Поддерживается работа в режиме постоянного тока (DC). Геометрия системы HEX поддерживает установку до 3-х магнетронных источников, что позволяет осуществлять совместное осаждение из нескольких истчоинков, а также формировать сложные многослойные покрытия.

Совместимые системы:

  • HEX

Приложения

  • Магнетронное распыление
  • Подготовка образцов для СЭМ
  • Обучение вакуумной технологии
Модель FISSION
Диаметр мишени 2″ (50мм)
Максимальный толщина мишени 6 мм
Охлаждение вода, 0,5 л/мин
Подача рабочего газа встроенная, через газовый капюшон
Оставить заявку на обратный звонок: