Магнетронный источик

Отправить запрос
на оборудование

Магнетронный источник модели FISSION для компактных лабораторных систем HEX обеспечивает использование широкого спектра материалов для формирования тонкопленочных покрытий. Существуют версии для мишеней 1″ и 2″. Магнетронный источник комплектуется магнитами из SmCo и позволяет использовать мишени толщиной от 1 до 6 мм. Типичный коэфициент использования мишени немагнитных материалов составляет 43%. Все источники модели FISSION оснащаются заслонками и линией подачи рабочего газа. Поддерживается работа в режиме постоянного тока (DC). Геометрия системы HEX поддерживает установку до 3-х магнетронных источников, что позволяет осуществлять совместное осаждение из нескольких истчоинков, а также формировать сложные многослойные покрытия.

Совместимые системы:

• HEX

Приложения

• Магнетронное распыление
• Подготовка образцов для СЭМ
• Обучение вакуумной технологии