Магнетронное распыление

Отправить запрос
на оборудование

Компания Exiton предлагает серию сверхвысоковакуумных систем и магнетронных источников распыления, предназначенных для напыления различных материалов. Используется главным образом для распыления магнитных и немагнитных материалов и формирования тонких и чистых пленок.

Системы оснащаются компонентами ведущих мировых производителей (США, Европа, Япония). Продукция поступила во многие известные лаборатории и исследовательские институты по всему миру, а качество и стабильность продукты находятся на высоком международном уровне.

Возможно использование различной конфигурации магнитов, материалов, диаметров мишеней, а также использование RF/DC и пр. В системы может быть установлено оборудование для мониторинга роста тонких пленок (RHEED, BFM, RGA и т. д.).

Применения
• Физические методы осаждения пленок
• Металлизация
• Наноструктурированные пленки
• Многослойное осаждение
• Реактивное магнетронное распыление