Заказать звонок

Компактная вакуумная система HEX

Отправить запрос
на оборудование

Система HEX была задумана и разработана с ориентацией на учебно-исследовательские программы. Модульная конструкция позволяет с минимальными финансовыми затратами и в кратчайшие сроки освоить технологии вакуумного напыления и исследовать на практике влияние и взаимодействие различных параметров процессов. Все это позволяет создать на базе учебно-исследовательских центров и центров коллективного пользования лабораторию по исследованию материалов и процессов роста тонких пленок.
Конструкция обеспечивает удобство и простоту осблуживания, внесения изменений и дополнений при низких финасовых расходах, что превращает HEX в передовую систему для обучения различным методам осаждения покрытий, начиная от подготовки образцов к анализу поверхности до нанесения тонких пленок методами электронно-лучевого и термического испарения, а также методами магнетронного распыления. Кроме того, в связи с повышенным интересом к органическим материалам в 2015 году был специально разработан и поступил в продажу испаритель органики.
Система поддерживает монтаж до 3-х источников, что совместно с автоматизацией превращает вакуумную систему начального уровня в серьезный исследовательский инструмент для работы со сложными многослойными структурами.
Возможно использование образцов диаметром 100мм или одновременно нескольких образцов меньших габаритов.

Типичное базовое давление в камере, составляет порядка 10-7 mbar.

Совместимые компоненты:

Термовакуумный испаритель
Магнетронный источники
Электронно-лучевой испаритель
Испаритель органики
Кварцевые микровесы для контроля скорости роста и толщины пленки.

Приложения

Подготовка образцов для СЭМ
Физика поверхности
OLED
Электронно-лучевое испарения
Магнетронное распыление
Термическое испарение
Обучение вакуумной технологии

Оставить заявку на обратный звонок: