Заказать звонок

Ионный источник FDG 15 & FDG 150

Отправить запрос
на оборудование

Ионный источник является основным предварительным условием для пробоподготовки в химии поверхности. Компания Focus представляет линейку ионных источников с термоэлектронным катодом прямого накала FDG.

Область применения:

  • очистка металлов и полупроводников
  • профилирование глубины XPS
  • спектроскопия ионного рассеяния ISS/LEIS
  • в качестве источника нейтрализации заряда <15 эВ.

Источники стандартно оптимизированы для работы с аргоном, но и другие благородные газы такие как водород или кислород, также полностью совместимы.
Оба источника изготовлены из полностью немагнитных материалов и совместимы с системами для электронной спектроскопии высокого разрешения.
Сверхчистый ионный пучок обеспечивается за счет прямого впуска газа и высокоэффективной дифференциальной откачки.
Ионным источником  можно полностью управлять с передней панели или через интерфейс TCP/IP. ProIon — простое в использовании программное обеспечение для ПК на основе LabVIEWTM.

Основные характеристики

Технические характеристикиFDG 15 FDG 150
Монтажный фланецDN 40 CF
Рабочее расстояние (WD)30 — 300 мм
Мин. диаметр луча (D)< 300 μм
(@ 5 кэВ, 50 мм WD)
< 150 μм
(@ 5 кэВ, 50 мм WD)
Энергия пучка1500 эВ — 5 кэВ
> 15 μA (@ 5 кэВ, 50 мм WD)
Энергия пучка 2опционально10 эВ — 500 эВ;
> 1 µA @ 50 эВ
Плотность тока луча> 4 мA/см2
при > 5 µA, D < 350 µм
(@ 5 кэВ, 50 мм WD)
> 4 мA/см2
при > 5 µA, D < 200 µм
(@ 5 кэВ, 50 мм WD)
Область сканированиядо 10 мм x 10 мм
(@ 5 кэВ, 50 мм WD)
Регулировка тока пучка
Измерение тока
Интерфейс TCP/IP
Программное обеспечение на основе LabVIEW
Полностью немагнитный
Вольфрамовая нить с покрытием из Иттрия (совместим с О2)
Оставить заявку на обратный звонок: