Заказать звонок

Ионные испарители FOCUS EFM

FOCUS производит и постоянно совершенствует линейку испарителей EFM с 1990 года, завоевав мировую репутацию самого востребованного источника для всех типов исследовательских систем.

Электронно-лучевые испарители сверхвысокого вакуума предназначены для выращивания сверхчистых субмонослойных и многослойных тонких пленок в условиях сверхвысокого вакуума (СВВ).

Испаряемый материал варьируется от металлов до отдельных молекул (Fe, Co, Cr, Mn, Ni, Pt, Ag, Au, Al, Ti, Ta, W, Si).

FOCUS представила обширную линейку испарителей от самых простых EFM3 до гораздо более сложных специальных решений, таких как, например EFM3i.

 

Основные характеристики

  • Испарение возможно производить как из тиглей, так и из стержней и тонких проволок.
  • Температурный диапазон от 100 до 3300 °C
  • Встроенный мониторинг потока
  • Водное охлаждение для минимизации повышения давления
  • Удобное программное обеспечение для ПК на базе Lab View
  • Самый популярный испаритель сверхвысокого вакуума в мире

Дополнительная информация

EFM 3 EFM 3s EFM 3i EFM 3T EFM 3TsEFM 4 EFM 4s EFM H
Рабочее расстояние (WD), мм50-30050-30050-300939350-30050-300>60
Стандартная глубина установки, мм210210210161161210210140
Опциональная глубина установки, мм190-600190-600190-600161-411161-411190-600190-600120-250
Расстояние до образца, мм260-410260-410260-410254254260-410260-410>200
Область испарения(диаметр), мм4-304-304-308.5, 11, 148.5, 11, 1410-13310-133±6° до
±15°
Монтажный фланец, ммDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CFDN 40 CF
Смещение по оси z 25 мм ✔ (3x)✔ (3x)
Смещение по оси z 50 ммопциональноопциональноопциональноопциональноопционально
Ионный супрессоропционально
Рекомендованный источник питания EVC 300-2EVC 300s-2EVC 300i3x EVC 3001x EVC 300s-2

2x EVC 300-2

EVC 300-2EVC 300-2EVC 100L
Оставить заявку на обратный звонок: