Заказать звонок

Электронно-лучевой испаритель

Отправить запрос
на оборудование

Электронно-лучевые испарители часто используются в тех случаях, когда необходимо работать с материалами плохо поддающимися испарению классическим термовакуумным испарением. Ускоренные электроны направляются в сторону испаряемого материала и тем самым увеличивают его температуру. В отличие от традиционных методов радиационного или косвенного нагрева, данный метод лишен верхнего предела температуры которую можно сообщить мишени. Электронно лучевые испарители модели TAU для систем HEX отлично зарекомендовали себя в тех случаях, когда необходим максимальный контроль скорости напыление при небольших потоках материала, а также если необходима минимизация загрязнения потока испаряемого материала, что особенно важно в таких областях как физика поверхности или, например, легирование тонких пленок. Для решения такого рода задач имеются как одно-, так и четырех-карманные версии электронно-лучевых испарителей.

Совместимые системы:

  • HEX

Приложения

  • Электронно-лучевое испарение
  • Физика поверхности
  • Легирование тонких пленок
  • Обучение вакуумной технологии
Модель TAU
Количество карманов 1 или 4
Максимальная мощность 250 Вт
Датчик потока встроен
Размеры тигля, мм3 100, 210, 390
Диаметр стержня, мм3 2 мм
Оставить заявку на обратный звонок: