FOCUS MEBW-60 L135

img
Самая последняя версия семейства MEBW-60, L135, представляет собой уникальный инструмент, сочетающий в себе точное управление мощностью электронного пучка вплоть до микронного диапазона с высокой производительностью и максимальной гибкостью.




Отправить запрос на оборудование

 


Самая последняя версия семейства MEBW-60, L135, представляет собой уникальный инструмент, сочетающий в себе точное управление мощностью электронного пучка вплоть до микронного диапазона с высокой производительностью и максимальной гибкостью. MEBW-60 L135 оборудован х / у столом с ЧПУ либо поворотным манипулятором с боковым креплением. Установка легко преобразуется из большого однобарабанного в шестибарабанный роторный манипулятор. Опциональное решение „подвижная пушка“ обеспечивает максимальную гибкость позиционирования. Наблюдение за деталями осуществляется в уникальном режиме FOCUS SEM «Scan & View».


Мультибарабанный вращательный манипулятор:
Модульный многобарабанный манипулятор с вращательным движением, позволяет сваривать одну, шесть или даже двенадцать заготовок в одном вакуумном цикле. Узел привода устанавливается вертикально или горизонтально снаружи камеры. Внутри камеры приводной блок может быть оснащен одним, шестью или даже двенадцатью поворотными держателями заготовок. Механизм оснащен двумя двигателями для поворота и позиционирования, что позволяет сократить время цикла.


Подвижная пушка:
В сочетании с неподвижно установленными манипуляторами вращательного движения подвижная пушка обеспечивает гибкое позиционирование луча для радиальных или осевых сварных швов. Возможно осуществить несколько радиальных или осевых сварных швов в течение одного вакуумного цикла.


Поворот и наклонное движение:
В сочетании с точным x-y столом, становится возможным свободное трехмерное позиционирование детали для сварки или обработки поверхности. Кроме того, имеется возможность сварки радиальных швов с использованием крепления задней бабки. Все устройства являются модульными и легко разбираются для отдельного использования.

 


Технические характеристики

Электронная пушка:
Ускоряющее напряжение: непрерывно регулируемое от 5 до 60 кВ
Максимальный ток пучка: 33 мА при 60 кВ, минимальная ширина шага 15 мкА, dc и режим быстрого импульса, мин. ширина импульса 10 мкc
Максимальная мощность пучка: 2 кВт
Простая и быстрая замена катода
Диаметр пучка: менее 50 мкм (достижимо 25 мкм) при токе 1 мА
Максимальный угол отклонения пучка: ±8°
Комплектация MEBW-60 L135
Опции манипулятора:
a)Однобарабанный поворотный манипулятор с ЧПУ с 3-кулачковым патроном и противоположной задней бабкой
b)6-барабанный поворотный манипулятор с ЧПУ с 3-кулачковым патроном
c)ЧПУ х / у манипулятор с T-Nut пластиной
d)Линейная пушка с ЧПУ с ходом 160 мм в направлении X

Размер рабочей камеры: 500x500x540 мм

Размер изделия для установки в держателе:
a)Ø250 мм x 350мм (длинна),
b)Ø100 мм x 250мм (длинна)
c)250 x 230 x 170 мм³
d)Ø60 мм x 100мм (длинна)

Скорость вращения:
a)0,1 - 30 об / мин угл. разр. 0,1 °
b)0,1 - 30 об / мин угл. разр. 0,1
c)0.1 - 100 мм/сек
d)скорость 0.1 - 10 мм/сек

Точность позиционирования менее 10 мкм