PULSE XPS

img
Универсальная сверхвысоковакуумная система, разработанная под самые высокие требования современного анализа тонких пленок. Система рассчитана на анализ поверхности методами XPS, UPS, ISS (LEIS), AES и Depth Profiling. Благодаря гибкой модульной конструкции функционал системы может быть легко расширен.




Отправить запрос на оборудование

 


Универсальная сверхвысоковакуумная система, разработанная под самые высокие требования современного анализа тонких пленок. Система рассчитана на анализ поверхности методами XPS, UPS, ISS (LEIS), AES и Depth Profiling. Благодаря гибкой модульной конструкции функционал системы может быть легко расширен.
 

PULSE-Базовая камера
Базовая сверх-высоковакуумная камера 
 

 

Сверх-высокоакуумная камера:
Уровень вакуумной течи мнее 5х10-11 мбар*л/с.
Базовое давление лучше 5х10-9 мраб во время откачки после отжига системы и при использовании чистого напуска атмосферы с продувкой сухим азотом.
  • Размер камеры. Камера имеет сферическую форму (диаметр 300 мм) и изготовлена из немагнитной нержавеющей стали марки 304.
  • Порты для аналитического оборудования.
NW100CF x 2 (XPS analyser [254mm FTS], столик-манипулятор),
NW63CF x 1  (X-Ray monochromator)
NW35CF x 4 (VUV source, x-ray source, ion source, charge neutralizer)
  • Вспомогательные порты
NW35CF x 4 (pressure gauge, chamber light, optional RGA, spare)
NW63CF x 3 (viewport, sample entry, spare)
NW100CF x 1 (turbo pump)
NW150CF x 1 (ion pump with TSP)
  • Запасные порты. Все запасные порты закрыты заглушками.
  • Порты для смотровых окон. Камера оснащена двумя портами NW 63CF.
  • Подсветка. Камера оснащена лампой для подсветки.
  • Рама. Камера смонтирована на жесткой раме с колесами для легкого позиционирования в лаборатории.
  • Откачной пост. Аналитическая камера оснащена турбомолекулярным насосом модели Pfeiffer HiPace300 (номинальная скорость откачки 265 л/с), форвакуумным насосом модели Agilent SH-110 (номинальная скорость откачки 6,6 м3/ч) с электромагнитным клапаном для защиты от отключения электропитания, клапаном для напуска атмосферы, чистого азота, контроллерами и кабелями.
  • Титановый сублимационный насос (TSP). В комплект включен контроллер.
  • Датчик вакуума. Ионизационный датчик типа Баярд-Альперт с двойной нитью накала в комплекте с контроллером и кабелями, монтируется на фланец NW40 CF.
  • Электроника. В комплект входит 19” стойка электроники, куда монтируются все блоки управления, в том числе ТМН, ФВН, вакуумными клапанами, RF/DC блоки питания для магнетронных источников и столика-манипулятора, кварцевыми микровесами, контроллером расхода газа, пневматическими клапанами, системой блокировок (поток охлаждающей жидкости, уровень вакуума, дверь для загрузки образцов) и кнопка экстренного отключения электропиатния.
  • Отжиг камеры. Для отжига система укрывается термоизоляционными панелями и прогревается с помощью 2-х нагревательных элементов (2кВт) до 200°С (зависит от компонентов, смонтированных на системе). Отжиг позволяет вывести камеру на базовое давление 5 х 10-9 мбар и лучше.
   
ASPECT
Комплект ASPECT-NEO


 
Полусферический анализатор энергии ASPECT представляет собой спектрометр заряженных частиц для анализа поверхности в условиях сверхвысокого вакуума методами XPS, UPS, AES и ISS. Состоит из входной электрооптической линзы с полусферическим анализатором энергий (средний радиус 160 мм) и многоканальным детектором с возможностью мгновенных снимков и быстрой электроникой.
  • Монтируется на фланец DN100CF. Расстояние фланец – образец 254 мм (10”).
  • Средний радиус полусферического анализатора энергии 160 мм.
  • Номинальное рабочее расстояние 35мм.
  • 128 канальный детектор с высокоскоростной считывающей электроникой.
  • Биполярный блок питания (0 – 3,5 кэВ) и управляющая электроника для XPS, UPS, AES и ISS/LEIS.
Комплекс управления NEO обеспечивает управление инструментом, сбор данных и обработку результатов.
  • Быстрый проведение исследований.
  • Сбор данных в режимах Multi Peak Monitoring и мгновенного снимка.
  • Управление анализатором ASPECT, LAX с двойным анодом и MECS источником монохромного рентгеновского излучения.
  • Графический браузер данных NEO.
  • Библиотека данных NEO.
  • ПК на базе Windows с предустановленным ПО, монитор, клавиатура, мышь.
 
Комплект также включает в себя CasaXPS для обработки данных. NEO поддерживает прямой экспорт в CasaXPS для бесшовному переходу от управления экспериментом и сбором данных к их анализу и формирования отчетов.
  • Полная количественная оценка включая коррекцию передачи.
  • Настраиваемые отчеты количественной оценки.
  • Настраиваемый тип фона от стандартного линейного, Ширли, Тугаарда, до пользовательского приближения кубическими сплайнами.
  • Симметричные и асимметричные формы линий: Doniach-Sunjic, Voigt, Gaussian-Lorentzian и линейные формы на основе собранных данных.
  • Простота обработки
  • Пакетная обработка повторяющихся задач, включая конфигурируемую обработку, компоновку отображения, автоматическую печать и формирование отчета.
   
PULSE-LL
Загрузочный шлюз
  • Камера загрузочного шлюза.
  • ТНМ модели Pfeiffer HiPace80 (80 л/с).
  • Безмасляный ФВН.
  • DN150CF Двухпозиционная шлюзовая заслонка.
  • Линейный манипулятор для передачи образца из загрузочного шлюза в рабочую камеру.
  • Комбинированный вакуумный датчик с кабелем.
  • Дверь для загрузки образцов
   
PULSE-SMPL-Z300
Столик-манипулятор для образцов типа Flag Samples
Столик-манипулятор с 4-мя степенями свободы для горизонтального монтажа держателей образцов (тип Flag Samples). По запросу возможна конфигурация под другие типы держателей. Столик-манипулятор монтируется на фланец NW100CF и состоит из следующих элементов:
  • XYZT многопозиционный столик.
  • Увеличено перемещение по оси Z до 300мм.
  • Полярное вращение +/- 90°.
  • Держатель образца может ограничивать угол наклона
   
ELEC-FLOOD
Электронная пушка типа Electron flood gun для нейтрализации зарядов образцов.
 
  • Электронная пушка типа Electron flood gun для нейтрализации зарядов образцов.
  • Два энергетических диапазона: 0,01 – 10 эВ и 10 – 500 эВ.
  • Особенности: высокий ток электронного пучка, изменяемые энергетические диапазоны, контроль профиля пучка, управление через ПО.
   
LAX
Двуханодный источник рентгеновского излучения модели LAX
 
LAX является двуханодным высокомощным источником рентгеновского излучения для возбуждения фотоэлектронов в XPS. Стандартно анод покрыт Mg и Al, по запросу могут быть использованы другие материалы.
Источник оснащен водяным охлаждением носового конуса, для минимизации нагрева образца при высоких мощностях и дифференциальной откачкой для работы при повышенных давлениях в аналитической камере.
LAX монтируется на фланец DN40CF и поставляется с системой выравнивания.
  • Блок управления рентгеновского излучения до 15 кВ питания анода и тока катода.
  • Блок управления X-Cooler с комплектом для подключения анодного питания и охлаждения.
  • ПО NEO для управления системой.
  • Все кабели и соединения для водяного охлаждения
   
MECS-UPG
Улучшение рентгеновского источника до монохромного для системы, оснащенной источником LAX
 
MECS включает источник рентгеновского излучения и зеркальный монохроматор в СВВ корпусе.
Излучение Al-Кα является монохромным и фокусируются зеркалом на окружность Роуланда диаметром 500 мм. Источник рентгеновского излучения может работать как в режиме spot mode, так и в режиме высокой мощности до 600 Вт.
Монохроматор монтируется на фланец DN63CF с длиной порта 203 мм и полностью отжигаем. Зеркало имеет независимую подстройку по двум углам наклона и линейному перемещению.
  • Источник монохромного рентгеновского излучения MECS.
  • ПО NEO для управления системой.
  • Все кабели и соединения для водяного охлаждения.
  • Для работы с данным источником требуется наличие блока управления рентгеновским излучением (SIGMA) и блок управление X-Cooler (SIGMA).
   
ION-40
Ионный источник для подготовки образцов
  • Ионный источник монтируется на фланец DN40CF.
  • Температура отжига до 250°C.
  • Размер пятна 3-20 мм (в зависимости от энергии и рабочего расстояния).
  • Диапазон энергий: 120 эВ – 5 кэВ.
  • Источник питания и кабель включены в комплект.
   
PULSE-MU
Улучшение материала 
аналитической камеры до мю-металла.
Замена материала аналитической камеры с немагнитной нержавеющей стали марки 304 на мю-металл для XPS или UPS.


Также воозможно оснащение базовой системы различными опциями, по требованию заказчика. Компания SIGMA открыта обсуждения технических параметров и комплектации установок, чтобы быть уверенными, что наши заказчики получат установку, отвечающую всем требованиям.